臭氣處理設備處理臭氣可以用氧化法：
氧化是指氣味氣體主要是重構材料，氧化劑具有強氧化性能，可以更好地氧化和分解氣味中的凈化因子，降低氣味濃度。目前常用的氧化劑包括臭氧和活性氧物質。
  臭氣處理設備的臭氧氧化法即應用臭氧的強氧化性，使臭氣中的化學成份氧化，到達脫臭目標。臭氧活潑的氣體，很輕易分化成氧氣，在濕度大的場所效果更明顯，因而臭氧常常是現場制備的。在前提適合時，臭氧與H：S反應速度也很快，只需一秒鐘，但須與待處置的氣體敏捷混雜平均。
  活性氧氧化是指直接應用活性氧發作安裝發生具有極強氧化才能的活性氧對臭氣中的化學成份進行氧化來污染氣體。活性氧是一種介于氧分子和臭氧分子之間的一種過渡態氧。在特制的活性氧發作安裝中應用高壓靜電的特別脈沖放電方法發生高密度的高能活性氧敏捷與無機分子碰撞，激活有機分子，并將其毀壞;或許高能活性氧激活空氣中的氧分子發生二次活性氧，與有機分子發作一系列鏈式反響，氧化無機物，從而使臭氣處理設備將臭氣徹底處理。